機(jī)床激光干涉儀可對(duì)機(jī)床、三測(cè)機(jī)及各種定位裝置進(jìn)行高精度的(位害和幾何)精度校正，具有測(cè)量精度高、測(cè)量速度快、最高測(cè)速下分辨率高、測(cè)量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。可完成各項(xiàng)參數(shù)的測(cè)量。如線形位置精度、重復(fù)定位精度、機(jī)床角度、直線度、垂直度、平行度及平面度等。其次，它還具有一些選擇功能，如自動(dòng)螺距誤差補(bǔ)償(適用大多數(shù)控系統(tǒng))，機(jī)床動(dòng)態(tài)特性測(cè)量與評(píng)估，回轉(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定，車(chē)床觸發(fā)脈沖輸入輸出功能等。
通過(guò)與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測(cè)量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測(cè)，可以進(jìn)行機(jī)床振動(dòng)測(cè)試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有*的精度和效率，為機(jī)床誤差修正提供依據(jù)。
機(jī)床激光干涉儀的應(yīng)用：
1、是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度的理想工具。檢定時(shí)可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理測(cè)量數(shù)據(jù)并打印出誤差曲線，為機(jī)床的修正提供可靠依據(jù)。
2、配有各種附件，可測(cè)量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差，在現(xiàn)場(chǎng)使用尤為方便。
3、可方便地安裝在測(cè)長(zhǎng)機(jī)上，取代原測(cè)長(zhǎng)機(jī)的坐標(biāo)系統(tǒng)，作為一般計(jì)量室中的長(zhǎng)度基準(zhǔn)。
4、是一種高精度的位移傳感器，可直接安裝于坐標(biāo)鏜、螺絲磨等精密機(jī)床及坐標(biāo)測(cè)量機(jī)上作為坐標(biāo)系統(tǒng)，使定位精度大為提高。
5、具有對(duì)光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測(cè)量元件的檢測(cè)和刻劃功能，儀器可按預(yù)定的間距自動(dòng)完成檢測(cè)和刻劃工作。
6、與圓分度器結(jié)合使用是一套高精度長(zhǎng)度—角度比相計(jì)，可作為機(jī)床傳動(dòng)鏈，絲桿螺旋線等誤差的測(cè)量系統(tǒng)。
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