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材料生產領域中,激光共聚焦顯微鏡有哪些用途?

更新時間:2023-03-01      點擊次數:851

在材料生產領域中,如需要分析金屬材料/部件粗糙度的時候,不管是使用原子力顯微鏡還是臺階儀,都沒有辦法同時兼顧分辨率、掃描區域以及掃描速度。而基于激光共聚焦顯微測量技術的VT6000激光共聚焦顯微鏡,配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節的展現纖毫畢現,能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。并且可以在保證分辨率的同時滿足測量速度的需求。


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VT6000激光共聚焦顯微鏡


1、非接觸式掃描,操作簡便,樣品即放即掃。

應用:墊圈

激光共聚焦顯微鏡非接觸式掃描測量速度比接觸式測量快數百倍。能以更高的精度對亞微米范圍的3D結構進行測量,短時間內能測量整個面板表面密封件的性能,以及其與表面組成相關的各種數據點。


2、具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。

應用:金屬板

除粗糙度評價標準外,激光共聚焦顯微鏡還可以計算和評估表面封閉區域的微體積,適用于評估這些重要的功能性三維結構。結合測量中提供的自動測量和批量測量功能,可實現對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數據的功能。


應用:摩擦學,腐蝕等表面工程

磨痕的體積測量,粗糙度測量,表面形貌,腐蝕以及亞微米表面工程后的表面形貌。

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應用:半導體/ LCD

各種工藝(顯影,刻蝕,金屬化,CVD,PVD,CMP等)后表面形貌觀察, 缺陷分析 非接觸型的線寬,臺階深度等測量。

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3、具備自動拼接功能,能夠快速實現大區域的拼接縫合測量。

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在樣品表面抽取多個區域測量,就可以快速實現大區域、高精度的測量,從而對樣品進行評估分析。


VT6000激光共聚焦顯微鏡具有高對比度、高分辨率及可重建三維圖像的優勢,查看各種顯微照片更加清晰,在材料生產、科研和檢測領域獲得廣泛應用。


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