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SuperViewW系列白光干涉三維形貌儀輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理，特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

SuperViewW白光干涉表面形貌3D測(cè)量?jī)x利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測(cè)量?jī)x器，主要用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量。

SuperViewW白光干涉3D表面形貌測(cè)量?jī)x基于白光干涉原理，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。它具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。

SuperViewW納米級(jí)白光3d表面輪廓檢測(cè)儀具有測(cè)量精度高、操作便捷、功能齊全、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn)，測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測(cè)。特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。

SuperViewW系列白光干涉儀三維表面測(cè)量系統(tǒng)以白光干涉技術(shù)為原理結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，可測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。

SuperViewW白光干涉三維表面測(cè)量?jī)x以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。