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中圖儀器激光干涉儀測(cè)量集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

SJ6000中圖激光干涉儀使用當(dāng)前熱門的軟件界面開(kāi)發(fā)工具，軟件界面人性化，操作簡(jiǎn)單。將靜態(tài)測(cè)量和動(dòng)態(tài)測(cè)量?jī)煞N功能合并到一個(gè)軟件中，更方便用戶切換測(cè)量類型。使用高性能氦氖激光器，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm)。配合有環(huán)境補(bǔ)償單元，在環(huán)境變化的情況下，也可以得到較高的測(cè)量精度。

便攜自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)，主要特點(diǎn)：小巧便攜、功能強(qiáng)大、無(wú)線操作；回轉(zhuǎn)軸測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、角度鏡組、WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。

激光干涉儀SJ6800，高精度測(cè)量、應(yīng)用廣泛、軟件功能強(qiáng)大，以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

激光干涉儀，以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，是迄今*的高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在*端制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

SJ6000激光干涉儀檢測(cè)設(shè)備氦氖激光器持續(xù)輸出高穩(wěn)頻的激光源，再加上環(huán)境補(bǔ)償器，使線性測(cè)量的精度穩(wěn)定在0.5ppm，動(dòng)態(tài)采集數(shù)據(jù)頻率高達(dá)50KHz，測(cè)量速度4m/sec，高速測(cè)量下的分辨率為1nm。產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)