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SJ6000激光干涉測量儀在數(shù)控機床精度測量方面，豐富的模塊化組件可根據(jù)具體測量需求而選擇，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。是一種用傳統(tǒng)測量手段難以實現(xiàn)的技術(shù)。

中圖儀器激光干涉儀器設(shè)備采用氦氖激光器作為光源。其精度高，扛擾力強，降低了對環(huán)境條件的要求，空氣湍流、熱波動等影響甚微，因此使它不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。

中圖儀器SJ6000機床校準(zhǔn)激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；也可以實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)。

中圖儀器激光平面干涉儀具有測量精度高、測量速度快、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點，不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。

中圖儀器SJ6000自制激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對米進行定義?？蓪崿F(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析。

中圖儀器品牌的激光干涉儀可以檢測加工中心及機床、三坐標(biāo)測量機的各項精度參數(shù)，使被加工工件符合標(biāo)準(zhǔn)，提高了產(chǎn)出的整體質(zhì)量度。能實現(xiàn)線性定位精度、直線度、角度、回轉(zhuǎn)軸等幾何量測量功能，同時結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，還能檢測運動導(dǎo)軌的俯仰角、直線度和垂直度、扭擺角，記憶校準(zhǔn)機床的回轉(zhuǎn)軸精度。